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UNIPULSE

정전용량방식 센서

평행평판 콘덴서의 원리에 근거하여 타겟과 프로브의 gap을 높은 직선성과 고분해능으로 측정할 수 있습니다.

 

Applications

- 에어스테이지의 위치결정 제어, 공작기계의 편심 alignment측정, 피에조 스테이지의 closed loop제어, 현미경 포커싱 센서로 사용


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