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Micro Manipulator

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- 기존의 수작업에서 숙련도를 요하는 다양한 분석 업무를 위한 미량(특히 1 ~ 10㎛) 샘플링을 누구나 쉽게 작업 가능

- 정확한 미량 샘플링 및 릴리스 가능

- 표준화·정확성·재현성 실현

- 적용 분야: 액정·전자부품·반도체·화학재료·기능재료·제약 등의 제조 공장


Application

- 표면 이물(부착,낙하)의 채취와 릴리스

· Sample: 레이저 프린트 토너입자

· Micro Tool: Tungsten Probe(0.5㎛)

 


 



- 매립 이물의 단면 돌출, 불필요 부분 제거

· Sample: 필름 돌기부

· Micro Tool: Ruby Knife (Flat-Blade)

 


 



- 매립 이물의 굴삭, 절개와 릴리스

· 1㎛ 단위로 절삭량 관리 가능

· Sample: 편광 필름

· Micro Tool: Ruby Knife (Flat-Blade 50㎛)

 


 



- 점착제 내에 혼입된 이물 채취와 릴리스

· 직경 10㎛의 단섬유 1가닥도 채취 가능

· Sample: 테이프에 부착된 단섬유

· Micro Tool: Micro Tweezers


 

 



- FIB 박편의 리프트아웃 등의 자세 제어와 릴리스

· 정확한 리프트아웃과 릴리스 작업 가능

· Sample: FIB 가공 박편

· Micro Tool: Glass Tool


 

 



- 경질 시료의 마킹 (선폭 5㎛ 이하 가능)

· 금속·유리·실리콘 웨이퍼 등의 경질 재료에 선 긋기 가능

· Sample: 붕규산 유리

· Micro Tool: Hard Metal Tool (5㎛)


 

 



- 미세 Hole내의 이물, 핀포인트 채취

· Sample: 잉크젯 프린트 노즐 (20㎛)

· Micro Tool: Tungsten Probe (0.5㎛)


 

 



- 미량의 액체 흡입과 도출

· Sample: 수성 잉크

· Micro Tool: Micro Injector (내경 10㎛)


 

 



- 깊이 방향 절삭 열화도·면 도출

· Sample: 수지 성형품 코팅 부분

· Micro Tool: 초음파 절삭기


 

 



- 프로빙 (5㎛ 정도의 배선 대응 가능)

· Sample: 프린트 기판

· Micro Tool: Electrode Holder (Tungsten Probe)


 

 

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