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UV Ozone Cleaner

- UV 오존 세정법(데미지가 없는 건식 세정법)은 단파장 UV광을 이용한 감광산화(感光酸化)은 프로세서에서 Photoresist, 수지, Silicon oil, Flux 등의 유기오염물질은 단파장의 UV 조사광을 흡수하여 오염분자의 분해로 생성물은 활성 산소와 반응하여 보다 심플한 휘발성 분자(ex.CO2, H2O 등)가 되어 분리되는 원리를 이용한 것 입니다.


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