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동적 표준가스 희석 장치

- 마이크로프로세서 기반의 표준가스 희석장치

- 표준가스의 정확한 유량을 조절할 수 있는 디지털 MFC 사용

- 내화학성 Solenoid Valve 탑재

- Multi-sampling ports

- Dilution recipe의 Save/Load 

- Gas flow Diagram 표시

- 고가의 표준가스 반복 제조

- 단계별 농도의 동적 Calibration

- 온실가스 측정 시 FTIR, QMS의 실시간 교정용으로 사용


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<농도별 C₂F₆ 의 Spectrum>


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<실시간 농도 변화 그래프>


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<C₂F₆ 의 Multi-point Calibration 결과>
 

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#FTIR# 표준가스희석장치# Calibration

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