FT-IR Moisture Analysis System > 제품

- 고온 가스의 응축을 막기 위해 Gas Cell 250℃ 까지 가열

- 고순도 부식성 특수가스 내에 존재하는 ppb 범위의 H2O 정량·정성 분석

- High Vacuum System 장착 가능

- NF3 중 수분 분석

- 반도체 가스 등의 부식성 가스의 자동 정량·정성 분석

- Cl2, HCl, HBr 외 가스 중 수분 분석

- Ammonia 중 극미량 수분 분석 (5~10 ppb)