I-4000 Series > 제품

- Short Path Gas Cell과 Micro Gas Cell 호환 가능

- 온도와 압력 자동 보정

- 실시간 농도 및 Trend 디스플레이

- 고농도(ppm)와 저농도(ppb)의 분석을 위한 설계

- CVD, Etch, Diffusion 공정의 On-line 모니터링

- Scrubber의 효율 평가

- 촉매 개발을 위한 NOx, SOx, NH3 동시 분석

- 반도체 가스 등의 부식성 가스의 자동 정량·정성 분석

- 연소 시 발생되는 독성 가스의 정량·정성 분석

<I-4000, 10cm Gas Cell FTIR system>