I-1800 Series > 제품

- 실시간 농도 및 Trend 디스플레이

- Micro Gas Cell을 이용한 ppm-ppb 단위의 가스 정량·정성 분석

- 온도와 압력 자동 보정

- 고순도 반도체 가스 중 Impurity 분석

- Gas Cell 250℃ 까지 가열 가능

- 촉매 개발을 위한 SCR 공정 분석

- 공기 청정기 에너지 효율 시험

- 화생방 가스 측정 분석

- 반도체 가스의 불순물 분석 (HCL, HBr, Cl2, C4F6, C2F6, SF6)

​<I-1800 Peripheral Device: Gas Cell의 온도와 압력 Controller>

<I-1800 2meter Gas Cell FTIR System>

<I-1800, Schematic of 6 meter Gas Cell FTIR System>