- 레이저 옵티컬 관련 기기, 간섭계, 미러 미세조정, 광파이버의 광축 조정, 노광장치의 기판 조정, 광학 부품의 미세 조정
- 정밀 스캐닝 : CCD 픽셀 shift, 현미경 분석기기의 시료 테이블
- 대물렌즈 포커싱 : 현미경 고속 포커싱, 화상처리, 공초점 현미경, 간섭계형상측정
- 초정밀 나노 가공·고속절삭가공: 정밀금형가공, 절삭공구 이송, 가공물의 정밀위치조정
- 각종 정밀 위치 결정: 미소시험편의 인장 압축, 고정도 평행 면조정, 마찰마모시험
Piezo stage:
- Type : X-axis, XY-axis, Z-axis, XYZ-axis, Tilt X, XY, Rotation, Goniometry, High-Rigid piezo stage for ultra-precision machining
- Travel range : ~ 800μm
- Resolution : 1nm ~
Piezo motor stage:
- Type : X축, XY-axis, Z-axis, Rotation, Gonipometry
- Travel range : 8mm, 16mm, 25mm
- Resolution : 20nm, 40nm
Piezo Impact Actuator (hammer)
- Maximum displacement: 9μm, 17μm, 35μm
- Maximum Generated Power: 850N
- Maximum drive frequency: 100Hz
Micro-Force sensor
- Type : 1-axis, 2-axis
- Measurement range : 0~100mN, 0~1N, 0~5N
- Resolutuion : 20μN, 0.1mN, 0.5mN
High-rigidity Force sensor
- Type :
1 axis type, 2 axis type (Horizontal sensitivity type)
Vertical sensitivity type
Horizontal and Vertical Complex Sensitivity
- Measurement range : 0~100N
- Resolution : 20mN
