Model NS7010 NS7110 NS7120
용도 / 특징  대물렌즈용 / 薄型  대물렌즈용 / 薄型  대물렌즈용 / 薄型
스트로크  15μm  100μm  100μm
분해능  2nm  5nm  5nm
공진주파수 (at 0g)  920Hz  340Hz  290Hz
Thread  M20.32, M25  M20.32, M25  M20.32, M25, M26, M32
       
Model NS7210 NS7510 NS7911
용도 / 특징  대물렌즈용 / 薄型  대물렌즈용 / 고속구동 Type  Revolver용
스트로크  200μm  100μm  100μm
분해능  10nm  5nm  5nm
공진주파수 (at 0g)  250Hz  210Hz  530Hz
Thread  M20.32, M25, M26, M32  M20.32  개별 대응
       
Model NS1311 NS1411 NS1611
특징 / 본체 재질  고속형 / 알루미늄  고속형 / 알루미늄  고속형 / steel
스트로크  6μm  12μm  12μm
분해능  2nm  2nm  2nm
공진주파수 (at 0g)  250Hz  4kHz  3.0kHz
본체 SIZE (mm)  35 x 35 x 16  45 x 45 x 16  60 x 60 x 20
내하중  10N  10N  50N
       
Model NS1621 NS1811 NS1821
특징 / 본체 재질  고속형 / 알루미늄  고속형 / 알루미늄  고속형 / steel
스트로크  20μm  30μm  30μm
분해능  2nm  3nm  3nm
공진주파수 (at 0g)  2.8kHz  2.4kHz  1
본체 SIZE (mm)  66 x 60 x 16  82 x 80 x 16  1.7kHz
내하중  30N  30N  50N
       
Model 고객 특별 주문형 고객 특별 주문형 고객 특별 주문형
특징 / 본체 재질  고내하중, 고속형 / stainless steel  고속형 / stainless steel  Hall, 고속형 / stainless steel
스트로크  12μm  20μm  18μm
분해능  2nm  2nm  3nm
본체 SIZE (mm)  44 x 30 x 15  66 x 40 x 13.5  36 x 70 x 20
       
Model NS2311 NS2031 NS2411
특징 / 본체 재질  롱 스트로크 / steel  롱 스트로크 / 알루미늄  롱 스트로크 / steel
스트로크  50μm  60μm  80μm
분해능  3nm  5nm  5nm
공진주파수 (at 0g)  420Hz  1.5kHz  320Hz
본체 SIZE (mm)  35 x 35 x18  120 x 60 x 16  45 x 45 x 18
내하중  10N  30N  10N
       
Model NS2611 NS2621 NS26311
특징 / 본체 재질  롱 스트로크 / 알루미늄  롱 스트로크 / steel  롱 스트로크 / steel
스트로크  80μm  100μm  150μm
분해능  5nm  5nm  10nm
공진주파수 (at 0g)  300Hz  300kHz  150Hz
본체 SIZE (mm)  66 x 66 x 16  60 x 60 x 25  60 x 60 x 20
내하중  10N  50N  10N
       
Model NS2831 NS2011 NS2021
특징 / 본체 재질  롱 스트로크 / steel  롱 스트로크 / 알루미늄  롱 스트로크 / 알루미늄
스트로크  300μm  300μm  500μm
분해능  20nm  20nm  30nm
공진주파수 (at 0g)  180Hz  170kHz  100Hz
본체 SIZE (mm)  80 x 80 x 25  100 x 100 x 16  110 x 120 x 20
내하중  50N  10N  10N
       
Model 고객 특별 주문형 고객 특별 주문형
특징 / 본체 재질  박막물성해석용 XY축 스테이지 / 알루미늄  투과Hall, X축 스테이지 / 알루미늄
스트로크  (X) 30μm, (Y)500μm  100μm
분해능  (X) 3μm, (Y)25μm  5nm
본체 SIZE (mm)  120 x 120 x 40  80 x 86 x 15
     
Model NS3311 NS3411 NS3611
특징 / 본체 재질  Z축 / 알루미늄  Z축 / 알루미늄  Z축 / steel
스트로크  6μm  12μm  12μm
분해능  2nm  2nm  2nm
공진주파수 (at 0g)  2.4kHz  1.5kHz  1.2kHz
본체 SIZE (mm)  35 x 35 x 26  45 x 45 x 36  60 x 60 x 40
내하중  10N  10N  50N
       
Model NS3621 NS3811 NS3821
특징 / 본체 재질  Z축 / 알루미늄  Z축 / 알루미늄  Z축 / steel
스트로크  20μm  30μm  30μm
분해능  2nm  3nm  3nm
공진주파수 (at 0g)  1.1kHz  1.1kHz  1.1kHz
본체 SIZE (mm)  60 x 60 x36  80 x 80 x 60  80 x 80 x 60
내하중  10N  10N  50N
       
Model NS3412 NS3612 NS3622
특징 / 본체 재질  Z축 / steel  Z축 / steel  Z축 / steel
스트로크  100μm  100μm  150μm
분해능  5nm  5nm  10nm
공진주파수 (at 0g)  320Hz  270Hz  170Hz
본체 SIZE (mm)  45 x 45 x 32  60 x 60 x 40  60 x 60 x 32
내하중  10N  30N  10N
       
Model NS3812 고객 특별 주문형 고객 특별 주문형
특징 / 본체 재질  Z축 / steel  고내하중비자성 스테이지 /Stainless steel  투과Hall형 Z축 스테이지/ 알루미늄
스트로크  300μm  40μm  15μm
분해능  20nm  10nm  2nm
본체 SIZE (mm)  80 x 80 x 40  220 x 100 x 100  95 x 75 x 40
       
Model NS4211(XY) NS4213(XY) NS4214(XY)
특징 / 본체 재질  알루미늄  알루미늄  steel
스트로크  (XY) 12μm  (XY) 100μm  (XY) 100μm
분해능  (XY) 2nm  (XY) 5nm  (XY) 5nm
공진주파수 (at 0g)  890Hz  390Hz  210Hz
본체 SIZE (mm)  100 x 100 x 36  130 x 130 x 30  150 x 150 x 30
내하중  10N  10N  10N
       
Model NS4301(XYZ) NS4302(XYZ) NS4311(XYZ)
특징 / 본체 재질  steel  steel  알루미늄, steel
스트로크  (XY) 20μm, (Z)12 μm  (XYZ) 80μm  (XY) 80μm, (Z) 20μm
분해능  (XY) 5nm  5nm  (XY) 5nm, (Z) 2nm
공진주파수 (at 0g)  940Hz  120Hz  260Hz
본체 SIZE (mm)  70 x 80 x 65  60 x 70 x 50  130 x 130 x 30
내하중  10N  5N  10N
       
Model NS4312(XYZ) NS4312(XYZ) 고객 특별 주문형
특징 / 본체 재질  알루미늄, steel  파이버얼라인용 4축스테이지/알루미늄  XYZθxθy스테이지/알루미늄
스트로크  (XY) 100μm, (Z) 25μm  20nm  5nm
분해능  (XY) 2nm, (Z) 2nm  20nm  5nm
본체 SIZE (mm)  150 x 150 x 30  160 x 100 x 130  200 x 200 x 82
       
Model NS5111 NS5211 NS5311
특징 / 본체 재질  θx틸트/알루미늄  θxθy틸트 + Z축 / 알루미늄  θz 회전형 / 알루미늄
스트로크  (θx) 600초  θxθy) 206초,(Z) 80μm  (θz) 800초
분해능  0.075초  (θxθy) 0.02초,(Z) 10nm  0.2초
공진주파수 (at 0g)  310Hz  310Hz  470Hz
본체 SIZE (mm)  60 x 60 x 40  120 x 120 x 52  60 x 60 x 20
내하중  10N  10N  10N
       
Model 고객 특별 주문형 고객 특별 주문형
특징 / 본체 재질  XYZθxθy스테이지/알루미늄  경사 스테이지 / 알루미늄
스트로크  (XY) 30μm, (Z) 100μm (θxθy) 170초  8분
분해능  5nm  
공진주파수 (at 0g)  310Hz  310Hz
본체 SIZE (mm)  200 x 200 x 82  60 x 30 x 65
     
Model NS6141 NS6281 SA501
특징 / 본체 재질  초정밀가공기용/FTS, 바이트, 斜軸스핀들, 워크 위치 결정용/steel  Bite Height adjustment
스트로크  3μm  5μm  30 ~ 50 nm
분해능  (XY) 5nm  5nm  (XY) 5nm, (Z) 2nm
공진주파수 (at 0g)  1.8kHz  720Hz  
본체 SIZE (mm)  90 x 80 x 35  150 x 150 x 40  120 x 80 x 55
내하중  50N  50N  
       
Model NC5101-C NC5111-C NC5121-C
용도  Stage controller
접속스테이지 내장 센서  정전용량형 센서
접속가능축수  1축
제어Interface  analog  analog & RS232C  analog & parallel
출력전압  0 ~ 150 V (open loop구동시)
-20 ~ 150 V (closed loop 구동시)
출력전류  평균 30mA, peak 50mA
보호회로  과열보호회로에 의한 압전액츄에이터 출력 차단
(내부온도 80℃이상에서 동작)
전원  AC85 ~ 264 V
크기  W74.5 x D287 x H120mm, 2.2kg
 
Model NC1101-C NC1111-C NC1121-C
용도  Stage controller
접속스테이지 내장 센서  정전용량형 센서
접속가능축수  1축
제어Interface  analog  analog & RS232C  analog & parallel
출력전압  0 ~ 150 V (open loop구동시)
-20 ~ 150 V (closed loop 구동시)
출력전류  평균 70mA, peak 140mA
보호회로  압전액츄에이터 단락시, 출력 차단
전원  AC 220 V
크기  W98 x D340 x H138mm, 3.7kg
 
Model NC1101-S NC1111-S NC1121-S
용도  Stage controller
접속스테이지 내장 센서  Strain gauge
접속가능축수  1축
제어Interface  analog  analog & RS232C  analog & parallel
출력전압  0 ~ 150 V (open loop구동시)
-20 ~ 150 V (closed loop 구동시)
출력전류  평균 70mA, peak 140mA
보호회로  압전액츄에이터 단락시, 출력 차단
전원  AC 220 V
크기  W98 x D340 x H138mm, 3.7kg
 
Model NC3000-C NC3000-S
용도  Stage controller
접속스테이지 내장 센서  정전용량형 센서  Strain gauge
접속가능축수  1축~3축
제어Interface   analog 또는
analog & RS232C
출력전압  0 ~ 150 V (open loop구동시)
-20 ~ 150 V (closed loop 구동시)
출력전류  평균 70mA, peak 140mA
보호회로  압전액츄에이터 단락시, 출력 차단
전원  AC 220 V
크기  W235 x D375 x H177mm, 7kg
 
Model PH101 PH301
용도  Piezo Driver  High power type
입력전압  0 ~ 10 V
출력전압  0 ~ 150 V
출력전류 평균, peak  30mA, 50mA  1A, ±5A
과전류보호회로  지원
증폭돕  15배
Ripple noise  10mVp-p  5mVp-p
Monitor 표시  없음  3.5 digit display
사용환경  10 ~ 40℃, 20 ~ 80%
전원  AC 220 V
크기  W260 x D132 x H280mm, 7.5kg
 
Model TS102 TS104 TS110
품명  Nano Step Slider
용도  현미경 시료 테이블, SEM/TEM테이블, Micro prober positioner,
Mapping 측정, 광학부품 위치결정용, 분석기기 시료 테이블
본체 재질  알루미늄
내장센서  Linear Scale
스트로크  15mm  35mm  100mm
분해능  10nm (closed loop)
반복정밀도  ±20nm
본체 SIZE (mm)  60 x 60 x 24  100 x 100 x 24  180 x 180 x 24
최대이동속도  10mm/sec
推力(Thrust)  1N
내하중  2kg
Guide  Cross roller
       
Model TC101 TC102
용도  Slider controller
입력전압  0 ~ 10 V
출력전압  0 ~ 150 V
출력전류 평균, peak  30mA, 50mA  1A, ±5A
과전류보호회로  지원
증폭돕  15배
Ripple noise  10mVp-p  5mVp-p
Monitor 표시  없음  3.5 digit display
사용환경  10 ~ 40℃, 20 ~ 80%
전원  AC 220 V
크기  W260 x D132 x H280mm, 7.5kg