WPA-100
Photonic Lattice Inc. 소개:Photonic Lattice, 3D포토닉 결정 칩 및 그 응용 제품을 제조 판매하고 있습니다.
설계, 제조의 고도의 기술과 망라적인 특허군을 보유하고 있는 토호쿠대학 출신의 기업입니다.
사업내용: 포토닉 결정을 응용한 기기의 제조·판매
(편광계측장치 등) 포토닉 결정 칩의 제조 판매
제품정보
* 2차원 복굴절 평가 장치 Model WPA-100
투명광학부품의 복굴절 분포를 간단, 고속 평가렌즈, 광디스크, 도광판 등의 성형품, 편광장, 파장판 등의 광학소자에있어서 복굴절은 중요한 품질입니다. WPA-100은 간단한 조작으로 복굴절의 2차원 측정데이터를 제공하므로 측정에 진가를 발휘합니다.
◈ 측정 원리
복굴절을 갖는 투명물질을 통과하면, 광의 편광상태가 변화합니다. (광탄성효과) 따라서, 물체를 통과하는 전후의 편광상태를 비교하면 복굴절을 평가할 수가 있습니다. Photonic Lattice의 포토닉 결정 filter를 조합한 편광 Imaging sensor으로써, 눈에는 보이지 않는 편광정보를 화상으로써 얻을 수 있습니다. 또한 Photonic Lattice의 전용 프로그램을 이용하여 복굴절 분포를 定量데이터 및 가시화가 가능합니다.
◈ WPA-100의 특징
▣ 1000nm 이상의 큰 위상차를 고속 정량 평가
▣ 위상차 분포를 다양한 기능으로 표시
▣ Birefringence imaging : 면내에 분포된 복굴절의 축방위와 크기를 화상표시와 저장
▣ 복굴절 분포의 그래프 표시: 임의의 2점간의 복굴절분포, 그래프 표시와 데이터 저장
▣ Area 해석: 임의의 사각 또는 원형 영역내의 복굴절량의 히스토그램 표시 및 저장
▣ 3차원 그래프 표시
▣ text, csv 포맷으로 데이터 출력
▣ 버튼 클린에 의한 간단 조작
◈ 수지 성형 렌즈의 정량 계측의 예
게이트부에는, 내부 응력이 집중하여 큰 복굴절이 발생합니다.  WPA-100로써, 수 1000 nm와 큰 위상차이의 측정이 가능하므로, 게이트 일그러짐의 저감 검토에 많이 도움이 되어 받을 수 있습니다. 최적화 실험때의 정량 평가 툴로서 꼭 활용해 주십시오
◈ 광학 필름의 계측의 예 (1/2파장판필름의 예)
WPA-100로써, 필름의 위상차이를 면분포로서 일괄 측정할 수 있습니다.  관찰 영역내의 광학 특성의 일 모양성 평가, 결함의 검출등을 정량적으로 실시할 수 있습니다. PA시리즈만이 가능한 全面 평가로, 보다 확실하고 고도의 품질 평가를 간편하게 실현 할 수 있습니다. 최적화 실험때의 정량 평가 툴로서 꼭 활용해 주십시오
  WPA-100 WPA-100L
측정범위 0~1000nm 정도 이상 , 측정 대상물의 재질에 의함.
반복측정정도 ±0.5nm 이하
복굴절 화소수 384×288 (≒11만) pixels
측정 파장 523nm, 543nm, 575nm
본체 Size 310×466×605.5 mm 450×593×915.5 mm
샘플 측정 크기 25×35mm ~100×136mm 25×35mm ~270×340 mm
무게 20kg 26kg
Interface GigE(카메라 신호), RS232C(모터 제어)
전원 AC100~240V 50/60 Hz / ~6.0A
Software WPA-View1.0
기타 부속품 Desk top PC, Monitor

     PA-100
제품정보
* 2차원 복굴절 평가 장치 Model PA-100
투명광학부품의 복굴절 분포를 간단, 고속 평가렌즈, 광디스크, 도광판 등의 성형품, 편광장, 파장판 등의 광학소자에있어서 복굴절은 중요한 품질입니다. PA-100은 간단한 조작으로 복굴절의 2차원 측정데이터를 제공하므로 측정에 진가를 발휘합니다.
◈ 측정 원리
복굴절을 갖는 투명물질을 통과하면, 광의 편광상태가 변화합니다. (광탄성효과) 따라서, 물체를 통과하는 전후의 편광상태를 비교하면 복굴절을 평가할 수가 있습니다. Photonic Lattice의 포토닉 결정 filter를 조합한 편광 Imaging sensor으로써, 눈에는 보이지 않는 편광정보를 화상으로써 얻을 수 있습니다. 또한 Photonic Lattice의 전용 프로그램을 이용하여 복굴절 분포를 定量데이터 및 가시화가 가능합니다.
◈ PA-100의 특징
▣ Birefringence imaging : 면내에 분포된 복굴절의 축방위와 크기를 화상표시와 저장
▣ 임의의 영역에서 다양한 그래프 표시 기능 (Line profile, 3D, 히스토그램)
▣ text, csv 포맷으로 데이터 출력
▣ 버튼 클린에 의한 간단 조작
▣ 동화상 촬영 및 해석 기능 (옵션)
▣ 미소Size계측용의 현미경 타입 PA-micro가 있음.
  PA-100 PA-100L
측정 범위 0~130nm(1/4λ)
반복측정정확도 ±0.5nm 이하
복굴절 화소수 560×434 pixels
측정 파장 520nm
본체 Size 310×395×605.5 mm 450×538×915.5 mm
샘플 측정 크기 110×190 mm 270×340 mm
무게 18kg 24kg
Interface USB2.0
전원 AC100V
Software PA-View1.0
기타 부속품 Note book PC, 표준렌즈, 취급설명서

     엘립소메트리
제품정보
* 고속 맵핑 엘립소메터 ME-110
▣ 초고속으로 극박막의 두께/굴절률을 측정
▣ 측정 결과를 3D 그래프 표시 기능
▣ 심플 인터페이스로 간단 조작
▣ text, csv 포맷으로 데이터 출력
▣ 面분포 데이터로부터 특정 개소를 재측정 가능
◈ 기존 측정 장치
광학소자를 회전시키고 편광계측을 합니다. → 계측에 시간이 걸립니다.
고정도 회전기구를 견딜 고강성 구조가 필요합니다. → 장치가 커지게 됩니다.
◈ Photonic Lattice PCA방식 측정 장치
◈ ME-110 사양
측정 방식 Photonic Crystal Array 병렬 처리 방식
측정 재현성 막두께: 0.1 nm, 굴절률: 0.001
※Si上SiO2膜(約100nm)를 입사각70도로 하여 반복측정한 표준 편차 입니다.
광원 반도체 레이저 (tpy. 636nm)
측정 spot 약 1mm각
입사각도 60, 70, 75[deg] 수동 교환
표준 스테이지 크기 최대 6인치 웨이퍼 대응
측정 속도 매분 1000포인트 (참고)
※측정속도치는 측정 대상, 스테이지설정 등으로 바뀌고, 항상 매분1000포인트를 보증하는 것은 아닙니다.
본체 크기 / 중량 시스템 전체 520 W×500 D×506 H [mm], 約60kg
장비 구성 조작PC, 표준 샘플, Software, 취급설명서
◈ 측정 사례
▣ 精度 평가용 더미 샘플 측정 예
Si웨이퍼상에 SiO2층을, 장소에 따라서 두께를 바꾸어 형성한 샘플의 측정예입니다. 극박막의 두께의 차가 명확히 측정할 수 있음을 확인됩니다.
▣ 레지스트 막두께 측정예
▣ GaAs웨이퍼 자연산화막 두께의 개체차 비교

     포토닉 결정 축대칭 광학 소자
제품정보
동심원 또는 방사형으로 편광방위를 갖는 축대칭 편광 레이저로, 변환 만들 수 있는 포토닉 결정 소자 입니다.
*특징: 耐熱, 耐光性이 뛰어 납니다. 파장 1064nm용입니다.
         UV ~ 적외선 까지 동작파장을 주문제작 가능합니다.

PLR-1064 / LMR-1064

PLA-1064 / LMA-1064

SWP-1064

소자 형상

기능

투과축이 방사형태의 비흡수형편광자  
소광비 PLR~ 200:1이상 LMR~10:1정도
투과축이 동심원 모양의 비흡수형편광자
소광비 PLA~ 200:1이상   LMA~10:1정도
직선편광을 축대칭편광으로 변환하는 복합1/2파장판

이용 사례

편광 필터레이저 공진기의 출력 미러 편광 필터 레이저 공진기의 출력 미러 축대칭 레이저용으로써의 간이 변환 필터