반도체 및 산업용 FT-IR I - series

제품특징 적용 응용 분야

1. 다양한 종류의 Gas Cell을 이용한 다양한 농도 의 Gas를 정량, 정성 분석 (1cm,10cm,15cm,4m,6m,10m,20m)

2. HF, HBr, HCl등의 부식성 Gas의 분석에도
사용 가능

3. 고온 가스의 응축을 막기 위해 Gas Cell 250℃
까지 가열 가능

4. Real Time으로 정량 Data를 얻을 수 있음

1. CVD,Etch,diffusion 공정의 on-line Monitoring

2. Scrubber의 효율 평가

3. 이동차량에 장착하여 현장에서 대기 Gas 분석

4. Stack Gas 분석

5. 반도체 Gas등의 부식성 Gas의 정량, 정성 분석

6. 촉매 개발을 위한 Nox , Sox ,NH3 동시 분석

7. 연소시 발생되는 Toxic 가스의 정량 정성 분석

8. 특수 Gas중 Moisture (H2O)를 ppb 정량 분석

 
Dual Cell System

제품특징 적용 응용 분야

1. Dual Gas Cell을 이용한 넓은 범위 농도의 Gas를 정량, 정성 분석

2. Cell pathlength 자동 선택

3. Automatic Optical Mirror 전환 가능

4. Process 의 전후공정의 농도 연속 측정

1. CVD 공정의 on-line Monitoring

2. Scrubber의 효율 평가

3. Filtration 분석

4. 연소 가스의 정량 정성 분석

 
High Purity Gas Analysis System

제품특징 적용 응용 분야

1. 20Meter Gas Cell을 이용한 ppm ~ ppb 단위의 Gas 정량, 정성 분석

2. 고순도 반도체 가스 중 Impurity 분석

3. 고온 가스의 응축을 막기 위해 Gas Cell 250℃ 까지 가열 가능

4. 4Meter, 6Meter, 10Meter, 20Meter Micro Cell 적용 가능

1. 반도체 가스의 불순물 분석(HF,HCl, HBr, Cl2,C4F6,C2F6,SF6)

2. 배기 가스 분석(NO,NO2,SO2,NH3,HCl,HBr.Hydrocarbon 등)

3. 고순도 가스 중 ppb 단위의 수분 분석

4. 촉매 개발을 위한 SCR 공정 분석

5. 공기 청정기 에너지 효율 시험

 
V-series FT-IR

제품특징 적용 응용 분야

1. Micro Gas Cell 을 이용한 고순도 부식성 특수가스 내에 존재하는 ppb 범위의 H2O를 정량 정성 분석

2. 고온 가스의 응축을 막기 위해 Gas Cell 250℃ 까지 가열 가능

3. High Vacuum System 장착 기능

1. 반도체 가스등의 부식성 가스의 정량 정성 분석

2. NF3 가스 중 수분 분석

3. Cl2 가스 중 수분 분석

4. Ammonia 가스 중 극미량 수분 분석 (5~10ppb)

 
Titan-OL FT-IR

제품특징

On-Line Monitoring 전용으로 개발된 제품으로 FT-IR Spectrometer 및 Sampling manifold와 Purge line 및 Reference gas Line으로 구성되어 있으며, 여러 곳의 Gas Monitoring을 한 장소에서 할 때 적합하다

 
Aries FT-IR

제품특징

1. 이동형 대기 Monitoring System으로 HBr,HCl,HF,CO,Arsine 등 Toxic 가스 측정에 용이하며 ppb level까지 분석 가능

2. 100Meter의 long Path Cell 과 FT-IR Spectrometer가 Mobile Cart위에 정착이 되어 있어 이동이 편리하며, 이동중 측정 가능

3. NIOSHA Method 3800에 부합

4. 실내공기질 Monitoring(CO,IPA,Methanol,Ozone,NO,NO2,SO2,NH3,HF,PFC등)

 
FabMonitor System


제품특징

1. FAB 내부의 누설가스감시 (예:C4F6)

2. 20 Meter Cell 적용

3. 연속제어 기능

4. 고온 가스의 응축을 막기 위해 Gas Cell 250도 까지 가열 가능

5. Peripheral Device 적용, 다양한 부가 장치 설치

6. 경보 기능

7. 실시간 Gas 모니터링

8. 46 Port Sampling point들의 연속 Monitoring

9. Clean Room Monitoring

 
Air Monitoring System


제품특징 적용 응용 분야

1. 광역성: 넓은 지역에서 많은 종류(270여종)의
가스를 동시에 모니터링 가능

2. 신속성: 수 초 안에 결과를 얻을 수 있다

3. 경제성:여러 곳 에서 Monitoring이 가능

4. 감 도: 대부분 가스의 경우 ppb level까지
분석 가능

1. 도시의 대기질 측정 연구

2. 석유화학 공단의 대기 오염물질의 배출정도 측정

3. 유해 화학공장, 각종 유기 용매 사용 공장들의 환경영향평가

4. 각종 폐수처리장, 소각로 시설의 악취 원인 물질 추적

5. 유독 가스에 대한 비상경고 및 누출검사

6. 농토 등 토질 개량시 발생되는 탄화수소류 분석

7. Fenceline Monitoring

 
원적외선 FT-IR


제품특징

1. 다양한 종류의 시료에 대한 Emissivity(방사율) 및 Emission Power (방사량) 측정

2. 측정파장 범위: 5000 ~ 400 cm-¹ (2 ~ 25㎛)

3. 광학계의 파장범위: 7800 ~ 350 cm-¹ (1.28 ~ 28.5㎛)

4. Detector: LN₂Cooled MCT Detector

5. 시료 온도 범위: 40 ~ 300℃ (다른 온도 범위는 선택 사양

6. 시료 온도 정확도: ± 0.1 ℃

7. Reference: Ideal Black Body(이상 흑체)

⊙주요 납품 실적: 원적외선 협회, 건자재 시험연구소,의류시험연구원,한국생활환경시험연구원,
포항산업과학연구원, 경북대학교

 
일반 실험실용 FT-IR


제품특징 적용 응용 분야

1. Monocoque (항공 우주 공법) 구조의 Optical Bench로 매우 가볍고 견고하다

2. 90℃, 180℃의 어느 방향에서도 작동(Scanning) 가능한 구조

3. 외부 충격에도 견딜 수 있는 구조로 이동이 자유롭다

4. Moisture Protect 되어 있어 상대적으로 수분에 약한 Beam splitter를 수분으로부터 강력히 보호

1. 화학, 석유화확, 식품, 제약, 환경 관련 연구기관 및 대학교

2. 적외선을 이용한 유기물의 구조 및 성분의 정성 정량 분석

3. 고분자 Cure Process Monitoring

4. 각종 유리제품의 반사율 및 투과율 측정

5. 고분자 Film(PE,PP,EVA 등)들의 불순물 정성 정량 분석

 
CHEMICAL WAREFARE AGENT TEST SYSTEM
(Model : JW-Chem-5913-001)
Agent-Measeure-Chamber


제품특징

Chamber Specification

1) Specifications : 200*150, SUS316L, RA : 2Um Under

2) Window Metrial : ZnSe, Size : 152.4 x 5mm UC/UC x 8~10' WDG, PWR/IRRG : 5/3

3) Combined for scrapping

4) Port : 3Way-2Port(Gas in-let out-let)
2way-2Port( Sensor Contact)

5) Temperature : AMB~120°c (PID Control)

Control & Display ; 19" Rack boxes
1) Jacket Temperature : AMB~120°c (2pice)
2) Safety Temperature : AMB~300°c (2pice)

Moving Stand ;
1) For Chember, ±100mm ajust
2) Circulating pump ; Chemical resistance, heat resistance
3) Flow rate : 6L/min

 
Hydrogon Gas Generators, Gas generator & mixer


제품특징

1. Ambent Temperature : 5~35℃

3. Purity : 99.99999% up

5. Water Purity : 1MΩ/㎠

7. Internal Water tank : 1.5L

9. Dimensions : 19" Rack*400D

11. Power consumption :1KW

13. Liquid Flow rate : 3.12pL/min~105ml/min(0.5uL~60ml)

2. Maxium Pressure : 10kg/㎠

4. Flow controll : 5~50L/min

6. Outlet connection : 1/4 union

8. External Water tank : 5L

10. Communications : RS232 , RS485

12. Temperature range : Amb~200℃(±0.1℃)

 
Ozone generator


제품특징

1. Air Volume : 1㎥/min

3. Flow controll : 1~300ml/min

2. AnIon : 1Mpcs/㎥

4. Outlet connection : 1/4 union

 
Temperature, Humidity, Flow generator


제품특징

1. Flow : 1 ~ 300ml/min

3. Temperature : AMB ~ 99 °c

5. Whole process automatic

7. Boiler humidifier tank : 1.7L

9. Pressure : 0~9 bar (analoge indicating)

2. Humidity : RH 25~95 %

4. Safety Heater Sensor : Pilot Lamp Display

6. Control & Display : PID Autocontrol LED display

8. Make-up tank : 3L

 
Black Body Source (Support Jack 포함)


제품특징

1. Active Area : 12" x 12" (305mm x 305mm)

2. Emissivity : 0.96+/- 0.02%

3. Calibration T/C Type "T" Thermocouple special 0.01% tolerance, matched to sensin

4. Housing Temperature Less than 50℃ above at 230℃

5. Source Type : Extended Area

6. Remote Interface : RS232, RS-485 or IEEE-488/GPIB

7. Dimensions (W x D x H) : 17" x 17" x 17"

< Temperature Controller (Black Body 용) >

1. Temperature range : Ambient ~ 230℃

2. Calibration Accuracy +/- 0.2℃ +/- digit

3. Resolution 1 or 0.1℃ Selectable