영문Gas명 국문Gas명 기호 측정범위
Acetic Acid 아세트산 CH3CO2H 0-100%LEL
Acetone 아세톤 (CH3)2CO 0-100%LEL
Alcohol 알코올 CH3OH 0-100%LEL
Ammonia 암모니아 NH3 0-200 ppm
Arsine 아르신 AsH3 0.0-1.00 ppm
Benzene 벤젠 C6H6 0-100%LEL
Boron Trichloride 삼염화붕소 BCl3 0.0-20.0 ppm
Carbon Dioxide 이산화탄소 CO2 0-2 %Vol
Carbon Monoxide 일산화탄소 CO 0-200 ppm
Chlorine 염소 Cl2 0.0-5.0 ppm
Combustible 가연성Gas LEL 0-100%LEL
Dichlorosilane 디클로로실란 SiH2Cl2 0.0-20.0 ppm
Disilane 다이실란 Si2H6 0.0-1.00 ppm
Fluorine 불소 F2 0.0-5.0 ppm
Hydrogen 수소 H2 0-100%LEL
Hydrogen Bromide 브로민화수소 HBr 0.0-20.0 ppm
Hydrogen Chloride 염화수소 HCl 0.0-20.0 ppm
Hydrogen Cyanide 사이안화수소 HCN 0.0-20.0 ppm
Hydrogen Fluoride 플루오린화수소/불산 HF 0-50 ppm
Hydrogen Sulfide 황화수소 H2S 0.0-20.0 ppm
Methane 메탄 CH4 0-100%LEL
Nitric Oxide 일산화질소 NO 0-100 ppm
Nitrogen Dioxide 이산화질소 NO2 0.0-20.0 ppm
Nitrogen Trifluoride 삼불화질소 NF3 0-100 ppm
Oxygen 산소 O2 0.0-25.0 %Vol
Ozone 오존 O3 0.0-20.0 ppm
Phosgene 포스겐 COCl2 0.0-1.00 ppm
Phosphine 프로핀 PH3 0.0-1.00 ppm
Propane 프로판 C5H12 0-100%LEL
Silane 실란 SiH4 0.0-50.0 ppm
Silicon Tetrafluoride 사불화규소 SiF4 0.0-20.0 ppm
Sulfur Dioxide 이산화황 SO2 0.0-20.0 ppm
Tetraethyl-Orthosilicate 테트라에틸오소실리케이트 TEOS 0-100 ppm
Tungsten Hexafluoride 물화텅스텐 WF6 0.0-20.0 ppm
☞ 이 외 150여종 가스 항목이 측정 가능하며, 자세한 사항은 문의 바랍니다.
담당자 : 김 기찬 차장  /  Mobile. 010-9018-0581  /  E-mail. kkchan7@joowon.co.kr